資源庫 / 3月29日消息，香港中文大學(xué)的研究人員現(xiàn)已開發(fā)出一種基于數(shù)字全息術(shù)的 TPL（雙光子光刻）平臺，該平臺能夠以2,000,000體素/秒的速度并行打印具有90nm分辨率的復(fù)雜3D結(jié)構(gòu)。

新的TPL平臺采用飛秒 (fs) 再生激光放大器，支持并行寫入多達(dá)2000個全息圖生成的激光焦點。所有激光焦點都可以根據(jù)振幅、相位和位置進(jìn)行單獨控制。研究人員開發(fā)了一種定制光刻膠以與超高峰值功率光源配合使用。

資源庫 / 3月29日消息，香港中文大學(xué)的研究人員現(xiàn)已開發(fā)出一種基于數(shù)字全息術(shù)的 TPL（雙光子光刻）平臺，該平臺能夠以2,000,000體素/秒的速度并行打印具有90nm分辨率的復(fù)雜3D結(jié)構(gòu)。

新的TPL平臺采用飛秒 (fs) 再生激光放大器，支持并行寫入多達(dá)2000個全息圖生成的激光焦點。所有激光焦點都可以根據(jù)振幅、相位和位置進(jìn)行單獨控制。研究人員開發(fā)了一種定制光刻膠以與超高峰值功率光源配合使用。